绍兴中芯集成电路制造股份有限公司（以下简称“中芯绍兴”）近日公布了“碳化硅（SiC）MOS芯片制造一期项目”的环境影响评价表。该项目位于绍兴市越城区，总投资9.61亿元，将主要从事6/8英寸SiC MOS芯片制造。 该项目实施主体为中芯绍兴控股子公司中芯越州集成电路制造（绍兴）有限公司，计划建设一条月产5000片的6/8英寸兼容SiC MOS芯片制造生产线。在完成6英寸SiC MOS规模化制造及技术持续研发和产品积累后，待国内8英寸SiC衬底片和外延片具备批量供应能力后，将快速切换到8英寸，建